小型等離子清洗機的操作流程主要包括接通電源、放置樣品、設(shè)置參數(shù)、啟動工作和取出樣品這幾個步驟。這種設(shè)備通過在真空環(huán)境中產(chǎn)生等離子體，利用其高活性粒子與材料表面相互作用，從而實現(xiàn)對材料的清洗、活化和改性。下面是詳細的操作步驟和注意事項：

　　

　　1、接通電源

　　

　?。?）檢查氣源：確認氮氣瓶和氧氣瓶連接正常且氣體充足，擰開氮氣源主閥，使減壓閥的壓力調(diào)節(jié)在0.4bar左右，打開氣源開關(guān)。

　　

　?。?）開機：接通電源，打開電源開關(guān)，確保設(shè)備各項指標處于初始狀態(tài)。

　　

　　2、放置樣品

　　

　?。?）放置材料：將需要處理的材料放在擱板上，如果材料尺寸太小，可以先放進托盤再放到擱板上，然后關(guān)好艙門。

　　

　?。?）注意分布：為了確保每個樣品都能得到充分清洗，一次放置的樣品數(shù)量不宜過多，并且要均勻分布。

　　

　　3、設(shè)置參數(shù)

　　

　?。?）進入調(diào)節(jié)界面：在控制面板上按“ENTER”鍵進入調(diào)節(jié)界面。

　　

　?。?）選擇進氣口：根據(jù)不同的清洗需求選擇合適的進氣口，如氧氣、氬氣等。

　　

　?。?）設(shè)定功率時間：設(shè)置所需的功率和時間，確保這些參數(shù)符合清洗要求。

　　

　　4、啟動工作

　　

　　（1）啟動設(shè)備：完成設(shè)置后，按“Start”按鈕開始清洗過程。此時，設(shè)備會在近真空條件下產(chǎn)生等離子體，這些高能等離子體會轟擊材料表面，達到清潔效果。

　　

　　（2）監(jiān)控過程：注意觀察設(shè)備的運行狀態(tài)，確保所有設(shè)置都在正常工作范圍內(nèi)。

　　

　　5、取出樣品

　　

　?。?）結(jié)束等待：清洗過程結(jié)束后，等待外部氣體充滿艙室后方可打開艙門。不要在氣體未充滿的情況下強行開門。

　　

　?。?）取出材料：打開腔室，取出已清洗好的樣品，并檢查清洗效果。

　　

　　6、關(guān)閉設(shè)備

　　

　?。?）關(guān)閉氣源：所有樣品清洗完成后，關(guān)閉所有氣源開關(guān)及主閥。

　　

　?。?）關(guān)閉艙門：將等離子清洗機的艙門關(guān)閉，確保設(shè)備處于安全狀態(tài)。

　　

　　在操作過程中，還需要注意以下幾點：

　　

　　1、避免破壞：侵蝕性溶液、氣體或揮發(fā)性物質(zhì)可能會污染或破壞機器，酒精、鹽酸、碘等需要謹慎處理，不能直接裸露放置在清潔艙內(nèi)。

　　

　　2、防潮：機器不防潮，注意不要把溶液灑在上面。

　　

　　3、重啟進氣：如果關(guān)閉了全部兩枚氣閥，當工作艙內(nèi)和管道內(nèi)殘余氣體耗盡時，就會停止工作，此時艙內(nèi)近似真空，不能強行開門，需要重啟進氣。

　　

　　4、安全防護：高壓真空危險，工作時艙內(nèi)還可能產(chǎn)生高溫，肢體勿要直接接觸擱板。若廢氣有害，清洗完畢要接通管道通向處理池。

　　

　　綜上所述，小型等離子清洗機的操作流程包括接通電源、放置樣品、設(shè)置參數(shù)、啟動工作和取出樣品這幾個關(guān)鍵步驟。同時，在操作過程中要注意合理選擇氣體、設(shè)置參數(shù)，并嚴格遵守安全操作規(guī)程，以確保設(shè)備的正常運行和高效清洗效果。