今天給大家講一講等離子清洗機(jī)的匹配器的問題。
 

　　其實(shí)對(duì)于很多客戶而言，并不關(guān)心這個(gè)，客戶只是關(guān)心處理的效果，對(duì)于等離子電源的匹配器了解甚少，不過寫一篇，如果哪天你公司的等離子出現(xiàn)下面的這些問題，你就知道是機(jī)器匹配器壞了。
 

　　國(guó)內(nèi)等離子電源主要的分兩種，13.56khz的射頻電源和40khz的中頻電源，其它的電源都用的很少。射頻電源等離子柔和細(xì)密，溫度也低，功率大做到2KW，用來處理一些嬌嫩的材料很是適合。中頻等離子剛好相反，等離子沒有那么密，但是力道猛，溫度高，功率能做很大，通常用來做刻蝕、除膠渣。
 

　　等離子清洗機(jī)反應(yīng)腔體、電極與等離子發(fā)生器之間的橋梁——阻抗匹配器
 

　　在高頻放電回路中，為了保證用于放電區(qū)的功率消耗保護(hù)振蕩器，常規(guī)的做法就是在高頻電源與等離子腔體、電極之間設(shè)置阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)，以便按不同放電條件進(jìn)行調(diào)節(jié)，使高頻發(fā)生器的輸出阻抗與負(fù)載阻抗能夠匹配，讓清洗機(jī)放電穩(wěn)定，工作效率高。

 

　　射頻清洗機(jī)會(huì)用到匹配器。
 

　　匹配器出了問題z為直接影響就是清洗機(jī)放電不穩(wěn)定，甚至不放電。那么就會(huì)直接影響到機(jī)器清洗的效果
 

　　匹配器出了毛病其主要原因有下面這幾個(gè)：
 

　　空氣電容損壞毛病原因：空氣電容在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中沖突發(fā)生導(dǎo)電雜質(zhì)，造成部分短路;沖突導(dǎo)致動(dòng)片軸損壞，無法正常調(diào)理。
 

　　進(jìn)口晶體管毛病 毛病原因：與空氣電容動(dòng)片軸損壞有關(guān)，空氣電容無法正常作業(yè)，射頻輸出阻抗無法調(diào)理，導(dǎo)致晶體管擊穿;在運(yùn)用過程中，匹配器初始值調(diào)理不妥，匹配時(shí)刻過長(zhǎng)或真空腔體內(nèi)輝光放電不穩(wěn)定也會(huì) 造成晶體管損壞。
 

　　電源匹配器平時(shí)做維護(hù)
 

　　等離子清洗機(jī)日常維護(hù)的時(shí)候，需要檢查電極板，每天下班了清洗機(jī)用完，對(duì)電極板有污染的地方，用酒精擦一擦。電極板的數(shù)量、間距，不懂就不要去亂調(diào)整。 定時(shí)確認(rèn)匹配器的初始值，長(zhǎng)時(shí)刻運(yùn)用可能會(huì)呈現(xiàn)初始值偏移的狀況，需求定時(shí)承認(rèn)并依據(jù)實(shí)際狀況調(diào)整。
 

　　如果初始值偏移太多，就請(qǐng)查看一下匹配器內(nèi)部和空氣電容片是否有錯(cuò)位或者打火現(xiàn)象。空氣電容的固定葉片及動(dòng)片在調(diào)到大時(shí)是基本重合的;如呈現(xiàn)打火現(xiàn)象， 承認(rèn)葉片有無燒壞，如燒壞可將燒壞位置打磨后再運(yùn)用，葉片之間的間隔太近也會(huì)呈現(xiàn)打火現(xiàn)象。
 

　　如果匹配器內(nèi)有燒焦的味道和以上問題無法處理，請(qǐng)及時(shí)與專業(yè)人員聯(lián)系。 匹配器內(nèi)部配件的運(yùn)用周期是無法具體承認(rèn)的，這與運(yùn)用環(huán)境、處理產(chǎn)品、運(yùn)用是否妥當(dāng)?shù)染新?lián)系，主要原因可能是匹配器內(nèi)雜質(zhì)造成了短路或打火。
 

　　匹配器是用來匹配電源和真空腔的，需要電源的功率和真空腔保持一致性。解釋起來就點(diǎn)像電腦上面的電源適配器的意思。