等離子體的原理是什么

      等離子體是氣體分子在真空、放電等特殊場(chǎng)合下產(chǎn)生的*現(xiàn)象和物質(zhì)。典型的等離子的組成是，電子、離子、自由基和質(zhì)子。就好象把固體轉(zhuǎn)變成氣體需要能量一樣，產(chǎn)生離子體也需要能量。一定量的離子體是由帶電粒子和中性粒子（包括原子、離子和自由粒子）混合組成。離子體能夠?qū)щ?，和電磁力起反?yīng)。

    等離子清洗/刻蝕機(jī)產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封容器中設(shè)置兩個(gè)電極形成電場(chǎng)，用真空泵實(shí)現(xiàn)一定的真空度，隨著氣體愈來愈稀薄，分子間距及分子或離子的自由運(yùn)動(dòng)距離也愈來愈長(zhǎng)，受電場(chǎng)作用，它們發(fā)生碰撞而形成等離子體，這時(shí)會(huì)發(fā)出輝光，故稱為輝光放電處理。輝光放電時(shí)的氣壓大小對(duì)材料處理效果有很大影響，另外與放電功率，氣體成分及流動(dòng)速度、材料類型等因素有關(guān)。

等離子體有一些顯著的特征：

1） 氣體產(chǎn)生輝光現(xiàn)象，常稱為“輝光放電”。由于是真空紫外光，其對(duì)蝕刻率有十分積極的影響。

2）氣體中包含中性粒子、離子和電子。由于中性粒子和離子溫度介于102—103K，電子能量對(duì)應(yīng)的溫度高達(dá)105K，它們被稱為“非平衡等離子體”或“冷等離子體”。但是它們卻表現(xiàn)出電中性（準(zhǔn)中性）。

3） 氣體所產(chǎn)生的自由基和離子活性很高，其能量足以破壞幾乎所有的化學(xué)鍵，在任何暴露的表面引起化學(xué)反應(yīng)。等離子體中粒子的能量一般約為幾個(gè)至幾十電子伏特，大于聚合物材料的結(jié)合鍵能(幾個(gè)至十幾電子伏特)，*可以破裂有機(jī)大分子的化學(xué)鍵而形成新鍵；但遠(yuǎn)低于高能放射性射線，只涉及材料表面，不影響基體的性能

等離子體可以通過直流或高頻交流電場(chǎng)產(chǎn)生。當(dāng)采用交流時(shí)，只能選用電信規(guī)定的科研及工業(yè)用頻段（中頻（MF）40KHz、高頻（HF）13.56MHz、微波頻率（MW）2.45GHz），否則會(huì)干擾無線電通信。